តម្លៃនៃម្សៅមីក្រូស៊ីលីកុនកាបៃបៃតងក្នុងការផលិតឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ពេលដើរចូលទៅក្នុងសិក្ខាសាលាឧបករណ៍វាស់ភាពជាក់លាក់ ជាកន្លែងដែលមនុស្សម្នាក់អាចឮសំឡេងចង្វាក់បេះដូង ខ្យល់ពោរពេញទៅដោយក្លិនស្រាលៗនៃទឹកត្រជាក់។ លោក Old Master Li សម្លឹងមើលដុំវាស់ទុងស្ទីនកាបៃដែលទើបកិនថ្មីៗដោយប្រើកែវពង្រីក ហើយរអ៊ូរទាំថា "សព្វថ្ងៃនេះ ការងារនេះកាន់តែមានភាពស្មុគស្មាញ។ កំហុសតែមួយ សូម្បីតែមួយម៉ឺនភាគនៃសក់ក៏ដោយ អាចបំបែកឧបករណ៍ទាំងមូលបាន!" ជាការពិតណាស់ បេះដូងនៃឧបករណ៍វាស់ភាពជាក់លាក់ - កែវអុបទិក ប៊ែររីងសេរ៉ាមិច និងឧបករណ៍ចាប់កាបៃ - គឺជាបញ្ហាប្រឈមដ៏គួរឱ្យភ័យខ្លាច៖ តម្រូវការដែលមានភាពរដុប ផុយស្រួយ ប៉ុន្តែវិមាត្រកំពុងតឹងរ៉ឹងរហូតដល់មាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រ។ ទន្ទឹមនឹងនេះ ម្សៅមីក្រូពណ៌បៃតងដ៏រស់រវើកកំពុងដើរតួនាទីយ៉ាងស្ងាត់ស្ងៀមជា "វីរបុរសនៅពីក្រោយឆាក" - ម្សៅមីក្រូស៊ីលីកុនកាបៃពណ៌បៃតង ដែលជា "កាំបិតវះកាត់កម្រិតមីក្រូម៉ែត្រ" ដែលមិនអាចខ្វះបានក្នុងការផលិតភាពជាក់លាក់។
កាបូនស៊ីលីកុនបៃតង (SiC) មិនមែនគ្រាន់តែជាខ្សាច់នោះទេ។ ជាកំណប់ទ្រព្យដែលបង្កើតឡើងពីវត្ថុធាតុដើមដូចជាខ្សាច់ក្វាត និងកូកាកូឡាប្រេងកាតនៅក្នុងឡដុតធន់ទ្រាំ វាមានរចនាសម្ព័ន្ធរឹងមាំតាមធម្មជាតិ (ភាពរឹងរបស់ Mohs 9.5 ទីពីរបន្ទាប់ពីពេជ្រ និងនីទ្រីតបូរ៉ុងគូប)។ អ្វីដែលគួរឱ្យកត់សម្គាល់ជាងនេះទៅទៀតនោះគឺគែមគ្រីស្តាល់មុតដូចកាំបិត និងលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីដែលមានស្ថេរភាពខ្លាំង ដែលអនុញ្ញាតឱ្យវាទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងទប់ទល់នឹងការជ្រៀតជ្រែកណាមួយជាមួយនឹងវត្ថុធាតុដើមដែលកំពុងដំណើរការ។ បន្ទាប់ពីការកំទេច និងការដាក់កម្រិតយ៉ាងហ្មត់ចត់ ម្សៅមីក្រូពណ៌បៃតងភ្លឺចែងចាំងទាំងនេះ ដែលមានទំហំតូចដូចជាមីក្រូពីរបី ឬសូម្បីតែប្រភាគនៃមីក្រូមួយ មើលទៅដូចជា "ក្រុមហ៊ុនកាំបិតមុតស្រួច" ដែលមានវិន័យ និងមុតស្រួច ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសដើម្បីដោះស្រាយសម្ភារៈរឹងខ្លាំង និងផុយស្រួយខ្លាំងជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។
ការដោះស្រាយភាពរឹងមាំ៖ «សត្រូវ» នៃកាប៊ីដ និងសេរ៉ាមិច
ឧបករណ៍កាត់កាប៊ីត កៅអីទ្រទ្រង់សេរ៉ាមិច និងចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់កាប៊ីតស៊ីលីកុន មាននៅគ្រប់ទីកន្លែងនៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ភាពជាក់លាក់។ សម្ភារៈទាំងនេះរឹងខ្លាំងណាស់ ដែលសារធាតុសំណឹកធម្មតាពិបាកជ្រាបចូល ដែលបណ្តាលឱ្យមានប្រសិទ្ធភាពទាប និងងាយនឹងប្រេះ និងប្រេះ។ ការមកដល់នៃម្សៅមីក្រូកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតងបានផ្លាស់ប្តូរទេសភាពភ្លាមៗ។ លោក Xiao Wang ដែលដំណើរការម៉ាស៊ីនកិនផ្ទៃដែលមានភាពជាក់លាក់បាននិយាយថា "ខ្ញុំធ្លាប់កិនចុងម្ជុលកាប៊ីតដោយប្រុងប្រយ័ត្នបំផុត ដូចជាការប៉ាក់ ហើយគែមច្រើនតែប្រេះ"។ "ចាប់តាំងពីប្រើសារធាតុរាវកិនដែលផលិតពីម្សៅមីក្រូកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតងមក ខ្ញុំកាន់តែមានទំនុកចិត្ត! អត្រាចំណីលឿនជាងមុន កម្លាំងកិនមានអារម្មណ៍ 'មុតស្រួច' ជាងមុន ហើយសំខាន់ជាងនេះទៅទៀត ភាពសុចរិតនៃគែមគឺល្អជាង ជាមួយនឹងការប្រេះតិចជាងមុន"។ អាថ៌កំបាំងនៅពីក្រោយរឿងនេះស្ថិតនៅក្នុងភាពរឹងខ្ពស់ និងគែមមុតស្រួចនៃម្សៅមីក្រូកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតង ដែល "កាត់" សម្ភារៈយ៉ាងស្អាតជាជាងការកំទេចវាដោយកម្លាំងខ្លាំង។ នេះកាត់បន្ថយការខូចខាតដល់ស្នាដៃដែលផុយស្រួយយ៉ាងខ្លាំង និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការយ៉ាងខ្លាំង។
ការឆ្លាក់ «បេះដូងកញ្ចក់»៖ អ្នកជំនាញប៉ូលាឧបករណ៍អុបទិក និងឧបករណ៍សេមីកុងដុកទ័រ
ភ្នែករបស់ឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ — កែវភ្នែកអុបទិក និងព្រីស ក៏ដូចជាបន្ទះសៀគ្វីស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងបន្ទះឈីបឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា MEMS — ត្រូវការផ្ទៃរលោងដូចស្បែកទារក (ភាពរដុប Ra ជារឿយៗឈានដល់កម្រិតណាណូម៉ែត្រ) ដោយគ្មានកន្លែងសម្រាប់កោស ឬការខូចខាតផ្ទៃខាងក្រោម។ ម្សៅមីក្រូស៊ីលីកុនកាប៊ីតពណ៌បៃតងប្រែក្លាយទៅជាមេប៉ូលាដ៏ឆ្ងាញ់។ ក្នុងដំណាក់កាលប៉ូលា និងប៉ូលា ម្សៅមីក្រូស៊ីលីកុនកាប៊ីតពណ៌បៃតងដែលមានទំហំភាគល្អិតល្អិតជាង (ថ្នាក់ W ឬសូម្បីតែល្អិតជាង) ត្រូវបានប្រើ និងផ្អាកក្នុងសារធាតុរាវប៉ូលាដែលបានបង្កើតជាពិសេស។ សិប្បករចាស់វស្សាម្នាក់ដែលមានបទពិសោធន៍ម្ភៃឆ្នាំក្នុងសិក្ខាសាលាអុបទិកបាននិយាយថា "សម្រាប់ឧបករណ៍រំញ័រគ្រីស្តាល់រ៉ែថ្មខៀវ ឬផ្ទៃអុបទិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីតពណ៌បៃតងដែលផ្អាកដំណើរការបានល្អជាងវត្ថុធាតុដើមថ្លៃជាងមួយចំនួន"។ "វាផ្តល់នូវកម្លាំងកិនដែលមានស្ថេរភាព ហើយភាគល្អិតឯកសណ្ឋានទំនងជាមិនសូវកកកុញ និងកោសផ្ទៃនោះទេ។ ផ្ទៃប៉ូលាមិនភ្លឺរលោងទេ ហើយស្រទាប់ខូចខាតផ្ទៃខាងក្រោមគឺរាក់ ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការបញ្ជូនអុបទិក និងស្ថេរភាពរយៈពេលវែងនៃសមាសធាតុអុបទិក!" ភាពអសកម្មគីមីដែលមាននៅក្នុងស៊ីលីកុនកាប៊ីតពណ៌បៃតងក៏ធានាថាដំណើរការប៉ូលាមិនបង្កឱ្យមានភាពមិនបរិសុទ្ធ និងការបំពុលនោះទេ ដែលធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃសមាសធាតុចុងក្រោយ។
ការបង្កើតរូបរាងដ៏ជាក់លាក់៖ “កាំបិតឆ្លាក់” សម្រាប់គ្រឿងបន្លាស់តូចៗដ៏ស្មុគស្មាញ
ឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ត្រូវបានបំពេញដោយមីក្រូផ្នែកតូចៗដែលមានរាងចម្លែកគ្រប់ប្រភេទ៖ អ៊ីសូឡង់សេរ៉ាមិចដែលមានរាងមិនទៀងទាត់ ចង្អូរនៅក្នុងបន្ទះសៀគ្វីមីក្រូហ្វ្លុយអ៊ីឌីក និងហ្គែរខ្នាតតូចដែលធ្វើពីកាប៊ីតស៊ីម៉ង់ត៍។ តំបន់ទាំងនេះមានកម្រិត និងស្មុគស្មាញ ដែលធ្វើឱ្យឧបករណ៍ប្រពៃណីមិនអាចទៅដល់បាន។ ម្សៅមីក្រូកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតង រួមផ្សំជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាម៉ាស៊ីនដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ក្លាយជាឧបករណ៍ដ៏មានឥទ្ធិពលសម្រាប់ "ការឆ្លាក់ខ្នាតតូច"។ ឧទាហរណ៍ ការបន្ថែមម្សៅកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតងដែលមានគ្រាប់ល្អិតៗទៅក្នុងសារធាតុរាវកិនសម្រាប់ការកិន jig ដែលមានភាពជាក់លាក់ ឬការកាត់ដោយខ្សែអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពកិន និងភាពត្រឹមត្រូវនៃវណ្ឌវង្កសម្រាប់វត្ថុធាតុរឹងខ្លាំង។ លោក Zhao ដែលត្រួតពិនិត្យការថែទាំផ្សិតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បាននិយាយថា "ការធ្វើរន្ធតូចៗស្តើងដូចសក់នៅក្នុងក្បាលបាញ់កាប៊ីតគឺទាំងអស់អំពីការកិនវាចេញបន្តិចម្តងៗជាមួយនឹងម្សៅកិនដែលលាយជាមួយម្សៅកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតង រួមផ្សំជាមួយនឹងក្បាលកិនពេជ្រស្តើងដូចម្ជុល"។ "វាបង្កើតជញ្ជាំងរន្ធត្រង់ និងរលោង ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងវិមាត្រស្របគ្នាក្នុងមីក្រូម៉ែត្រ។ ការប្រើប្រាស់ម្សៅផ្សេងទៀតមិនបង្កើតលទ្ធផលច្បាស់លាស់បែបនេះទេ"។ នៅក្នុងម៉ាស៊ីនដែលមានជំនួយពីអ៊ុលត្រាសោន ម្សៅកាប៊ីតស៊ីលីកុនពណ៌បៃតងគឺជាដៃគូដ៏ល្អសម្រាប់រំញ័រប្រេកង់ខ្ពស់ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការខួង ការកាត់ និងដំណើរការវណ្ឌវង្កដ៏ល្អនៃវត្ថុធាតុរឹង និងផុយស្រួយប្រកបដោយភាពជាក់លាក់។
ទាញយកអត្ថប្រយោជន៍ច្រើនបំផុតពី "កាំបិតមីក្រូន" នេះ៖ បទពិសោធន៍ពីសិក្ខាសាលា
ដោយសារឧបករណ៍ដែលមានភាពជាក់លាក់កាន់តែតូចជាងមុន ឆ្លាតវៃជាងមុន និងសម្រេចបាននូវដំណើរការកាន់តែខ្ពស់ តម្រូវការភាពជាក់លាក់នៃការផលិតសម្រាប់សមាសធាតុស្នូលនឹងកាន់តែតឹងរ៉ឹង។ បច្ចេកវិទ្យាម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីតបៃតងក៏កំពុងមានភាពប្រសើរឡើងឥតឈប់ឈរផងដែរ។ ម្សៅមីក្រូដែលមានការចែកចាយទំហំភាគល្អិតតូចចង្អៀត ភាគល្អិតល្អិតៗ (ណាណូមាត្រ) និងរូបរាងដែលអាចគ្រប់គ្រងបានកាន់តែច្រើន (ដូចជាភាពស្វ៊ែរដោយផ្នែកដើម្បីកាត់បន្ថយការកោស) គឺជាវិស័យស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ដ៏ក្តៅគគុក។ វិស្វករក៏កំពុងខិតខំប្រឹងប្រែងឥតឈប់ឈរដើម្បីរួមបញ្ចូលម្សៅមីក្រូស៊ីលីកុនកាប៊ីតបៃតងឱ្យកាន់តែប្រសើរឡើងទៅក្នុងអង្គភាពដំណើរការស្វ័យប្រវត្តិ និងឆ្លាតវៃ (ដូចជាស្ថានីយ៍ប៉ូលារ៉ូបូត និងប្រព័ន្ធកិនសម្របខ្លួនជាមួយនឹងការត្រួតពិនិត្យតាមអ៊ីនធឺណិត) ដើម្បីសម្រេចបាននូវការផលិតភាពជាក់លាក់ដែលមានស្ថេរភាព និងមានប្រសិទ្ធភាពជាងមុន។ នៅក្នុងសិក្ខាសាលាភាពជាក់លាក់នាពេលអនាគត “កាំបិតវះកាត់កម្រិតមីក្រូម៉ែត្រ” នេះប្រាកដជានឹងកាន់តែមុតស្រួច និងឆ្លាតវៃជាងមុន។